Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen: = Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications
Siegen: Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, Institut für Werkstofftechnik, Universität Siegen, 2016
Online
Monographie, Hochschulschrift, Elektronische Ressource
- 1 Online-Ressource (XI, 110 Seiten)
Zugriff:
Ermittle Ausleihstatus...
Titel: |
Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen: = Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications
|
---|---|
Verantwortlichkeitsangabe: | von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang |
Autor/in / Beteiligte Person: | Vogel, Michael (1978-) ; Jiang, Xin |
Körperschaft: | Universität Siegen |
Lokaler Link: | |
Link: | |
Verwandtes Werk: |
|
Veröffentlichung: | Siegen: Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, Institut für Werkstofftechnik, Universität Siegen, 2016 |
Medientyp: | Monographie, Hochschulschrift |
Datenträgertyp: | Elektronische Ressource |
Umfang: | 1 Online-Ressource (XI, 110 Seiten) |
Sonstiges: |
|