Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen: = Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications

von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang

Siegen: Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, Institut für Werkstofftechnik, Universität Siegen, 2016

Online Monograph, Academic Publication, Electronic Resource - 1 Online-Ressource (XI, 110 Seiten)

Access:

Volltext [kostenfrei]

Title:	Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen: = Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications
Statement of Responsibility:	von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang
Author / Contributor:	Vogel, Michael (1978-) ; Jiang, Xin
Corporate body:	Universität Siegen
Local link:	Volltext [kostenfrei] Volltext
Link:	Verlag - Full Text (Open Access) Langzeitarchivierung Nationalbibliothek - Full Text (Open Access)
Related work:	Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik — Additional volumes Erscheint auch als: Druck-Ausgabe: Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen / Michael Vogel
Publication:	Siegen: Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, Institut für Werkstofftechnik, Universität Siegen, 2016
Media Type:	Monograph, Academic Publication
Carrier Type:	Electronic Resource
Pagination:	1 Online-Ressource (XI, 110 Seiten)
Additional details:	Online-Ressource [Kann nicht per Fernleihe bestellt werden!] Gesamttitelangabe: Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; Band 11 Kurzfassung auf Englisch Dissertation, Universität Siegen, 2016 Lokale Notationen: ZKS; ZLR; ZZZB Fächer: Maschinenbau; Ingenieurwissenschaft / Technik hbz Verbund-ID: HT019133113

Please select a fomat and save the data, next, you provide an e-mail address and have the data delivered there.

BibTeX Citavi, JabRef, et al.
(Reference Management)

PDF No full text!
(Notepad, Notes)

RIS Endnote, Citavi, e.a.
(Reference Management)

MODS
(XML for further processing)

Select the appropriate citation format, copy it to the clipboard, and have it sent by e-mail or save it as a PDF file.

Citation style selected:

Please check that the citation is formally correct prior to using it in a paper. You might like to use the "Export" dialogue for formatting citations yourself for a reference management program.