Effects of Substrate Bias Voltage on Structural and Optical Properties of Co-Sputtered (Al<subscript>x</subscript>Ga<subscript>1–x</subscript>)<subscript>2</subscript>O<subscript>3</subscript> Films

Gao, Yan ; Dong, Haitao ; et al.

In: Journal of Electronic Materials, Jg. 52 (2023-11-01), Heft 11, S. 7429-7437

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Titel:	Effects of Substrate Bias Voltage on Structural and Optical Properties of Co-Sputtered (Al<subscript>x</subscript>Ga<subscript>1–x</subscript>)<subscript>2</subscript>O<subscript>3</subscript> Films
Autor/in / Beteiligte Person:	Gao, Yan ; Dong, Haitao ; Zhang, Xiaoke ; Feng, Wenran
Link:	Zum Volltext
Zeitschrift:	Journal of Electronic Materials, Jg. 52 (2023-11-01), Heft 11, S. 7429-7437
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0361-5235 (print) ; 1543-186X (print)
DOI:	10.1007/s11664-023-10673-7
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Springer Nature Journals Sprachen: English

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