Effect of TMG Addition on the Epitaxial Growth of 3C-SiC on Si(100) and Si(111) Using Hexamethyldisilane

Lee, Ki Hoon ; Teker, Kasif ; et al.

In: MRS Online Proceedings Library, Jg. 640 (2000-12-01), Heft 1

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Titel:	Effect of TMG Addition on the Epitaxial Growth of 3C-SiC on Si(100) and Si(111) Using Hexamethyldisilane
Autor/in / Beteiligte Person:	Lee, Ki Hoon ; Teker, Kasif ; Zhang, Ming ; Chung, Juyong ; Pirouz, Pirouz
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Zeitschrift:	MRS Online Proceedings Library, Jg. 640 (2000-12-01), Heft 1
Veröffentlichung:	2000
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0272-9172 (print) ; 1946-4274 (print)
DOI:	10.1557/proc-640-h5.11
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Springer Nature Journals Sprachen: English

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