Analytically assisted FEM approach for the design and optimization of laterally excited bulk acoustic wave resonators (XBARs) with a high electromechanical coupling

Kumar, Ajay ; Prajesh, Rahul

In: Applied Physics A: Materials Science & Processing, Jg. 130 (2024-05-01), Heft 5

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Titel:	Analytically assisted FEM approach for the design and optimization of laterally excited bulk acoustic wave resonators (XBARs) with a high electromechanical coupling
Autor/in / Beteiligte Person:	Kumar, Ajay ; Prajesh, Rahul
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Zeitschrift:	Applied Physics A: Materials Science & Processing, Jg. 130 (2024-05-01), Heft 5
Veröffentlichung:	2024
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0947-8396 (print) ; 1432-0630 (print)
DOI:	10.1007/s00339-024-07434-6
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Springer Nature Journals Sprachen: English

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