Feedforward compensation for hysteresis and dynamic behaviors of a high-speed atomic force microscope scanner

Otieno, Luke Oduor ; Nguyen, Thi Thu ; et al.

In: Journal of the Korean Physical Society, Jg. 80 (2022-02-01), Heft 4, S. 325-336

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Titel:	Feedforward compensation for hysteresis and dynamic behaviors of a high-speed atomic force microscope scanner
Autor/in / Beteiligte Person:	Otieno, Luke Oduor ; Nguyen, Thi Thu ; Park, Sang Joon ; Lee, Yong Joong ; Alunda, Bernard Ouma
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Zeitschrift:	Journal of the Korean Physical Society, Jg. 80 (2022-02-01), Heft 4, S. 325-336
Veröffentlichung:	2022
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0374-4884 (print) ; 1976-8524 (print)
DOI:	10.1007/s40042-021-00376-9
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Springer Nature Journals Sprachen: English

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