A study of the OMVPE growth mechanisms using internal reflectance spectroscopy to examine adsorption of TMGa and NH<subscript>3</subscript> and surface reactions between them

Tripathi, A. ; Mazzarese, D. ; et al.

In: Journal of Electronic Materials, Jg. 18 (1989), Heft 1, S. 45-51

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Titel:	A study of the OMVPE growth mechanisms using internal reflectance spectroscopy to examine adsorption of TMGa and NH<subscript>3</subscript> and surface reactions between them
Autor/in / Beteiligte Person:	Tripathi, A. ; Mazzarese, D. ; Conner, W. C. ; Jones, K. A.
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Zeitschrift:	Journal of Electronic Materials, Jg. 18 (1989), Heft 1, S. 45-51
Veröffentlichung:	1989
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0361-5235 (print) ; 1543-186X (print)
DOI:	10.1007/bf02655343
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Springer Nature Journals Sprachen: English

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