High-throughput thermodynamic analysis of epitaxial growth of β-Ga2O3 by the chemical vapor deposition method from TMGa-H2O system

Zhang, Chitengfei ; Lu, Pengjian ; et al.

In: Materials Today Communications, Jg. 38 (2024-03-01)

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Titel:	High-throughput thermodynamic analysis of epitaxial growth of β-Ga2O3 by the chemical vapor deposition method from TMGa-H2O system
Autor/in / Beteiligte Person:	Zhang, Chitengfei ; Lu, Pengjian ; Qiu, Wei ; Kuang, Xiaoxu ; Tu, Rong ; Zhang, Song
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Zeitschrift:	Materials Today Communications, Jg. 38 (2024-03-01)
Veröffentlichung:	2024
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2352-4928 (electronic)
DOI:	10.1016/j.mtcomm.2024.108054
Sonstiges:	Nachgewiesen in: ScienceDirect Sprachen: English

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