HVPE of AlxGa1−xN layers on planar and trench patterned sapphire
In: Journal of Crystal Growth, Jg. 353 (2012-08-15), Heft 1, S. 129-133
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HVPE of AlxGa1−xN layers on planar and trench patterned sapphire
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Autor/in / Beteiligte Person: | Hagedorn, S. ; Richter, E. ; Zeimer, U. ; Prasai, D. ; John, W. ; Weyers, M. |
Link: | |
Zeitschrift: | Journal of Crystal Growth, Jg. 353 (2012-08-15), Heft 1, S. 129-133 |
Veröffentlichung: | 2012 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 0022-0248 (electronic) |
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2012.05.028 |
Sonstiges: |
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