MOCVD in inverted stagnation point flow: I. Deposition of GaAs from TMAs and TMGa
In: Journal of Crystal Growth, Jg. 77 (1986), Heft 1, S. 120-127
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MOCVD in inverted stagnation point flow: I. Deposition of GaAs from TMAs and TMGa
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Autor/in / Beteiligte Person: | Lee, Peter ; McKenna, Don ; Kapur, Devesh ; Jensen, Klavs F. |
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Zeitschrift: | Journal of Crystal Growth, Jg. 77 (1986), Heft 1, S. 120-127 |
Veröffentlichung: | 1986 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 0022-0248 (electronic) |
DOI: | 10.1016/0022-0248(86)90291-5 |
Sonstiges: |
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