The effects of surface passivation on the electrostatics of the UTB SOI devices

Solanki, Ravi ; Medury, Aditya Sankar

In: Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EuroSOI-ULIS); (2021-09-01) S. 1-4

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Titel:	The effects of surface passivation on the electrostatics of the UTB SOI devices
Autor/in / Beteiligte Person:	Solanki, Ravi ; Medury, Aditya Sankar
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Quelle:	Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EuroSOI-ULIS); (2021-09-01) S. 1-4
Veröffentlichung:	2021
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	978-1-6654-3745-5 (print)
ISSN:	2472-9132 (print)
DOI:	10.1109/EuroSOI-ULIS53016.2021.9560686
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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