Source Materials and Methods for Gallium Ion Implantation
In: 22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT); (2018-09-01) S. 215-218
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Konferenz
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Titel: |
Source Materials and Methods for Gallium Ion Implantation
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Autor/in / Beteiligte Person: | Tang, Ying ; Yedave, Sharad ; Byl, Oleg ; Despres, Joseph ; Sweeney, Joseph |
Link: | |
Quelle: | 22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT); (2018-09-01) S. 215-218 |
Veröffentlichung: | 2018 |
Medientyp: | Konferenz |
ISBN: | 978-1-5386-6828-3 (print) ; 978-1-5386-6829-0 (print) ; 978-1-5386-6827-6 (print) |
DOI: | 10.1109/IIT.2018.8807951 |
Sonstiges: |
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