Precise beam angle control in the S-UHE, SEN's single-wafer ultra-high energy ion implanter

Ninomiya, Shiro ; Sasaki, Haruka ; et al.

In: 20th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT); (2014-06-01) S. 1-4

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Titel:	Precise beam angle control in the S-UHE, SEN's single-wafer ultra-high energy ion implanter
Autor/in / Beteiligte Person:	Ninomiya, Shiro ; Sasaki, Haruka ; Ido, Noriyasu ; Inada, Koji ; Watanabe, Kazuhiro ; Kabasawa, Mitsuaki ; Tsukihara, Mitsukuni ; Ueno, Kazuyoshi
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Quelle:	20th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT); (2014-06-01) S. 1-4
Veröffentlichung:	2014
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	978-1-4799-5212-0 (print)
DOI:	10.1109/IIT.2014.6940032
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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