Growth of Al/sub x/Ga/sub 1-x/N by plasma assisted MOCVD

Arifin, P. ; Sugianto ; et al.

In: Conference on Optoelectronic and Microelectron Materials and Devices; (2002) S. 45-48

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Titel:	Growth of Al/sub x/Ga/sub 1-x/N by plasma assisted MOCVD
Autor/in / Beteiligte Person:	Arifin, P. ; Sugianto ; Suprianto, E. ; Wendri, N. ; Sutanto, H. ; Budiman, M. ; Barmawi, M.
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Quelle:	Conference on Optoelectronic and Microelectron Materials and Devices; (2002) S. 45-48
Veröffentlichung:	2002
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	0-7803-7571-8 (print) ; 978-0-7803-7571-0 (print)
ISSN:	1097-2137 (print)
DOI:	10.1109/COMMAD.2002.1237185
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library Relation: 2002 Conference on Optoelectronic and Microelectron Materials and Devices

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