Low frequency noise characterization in n-channel UTBOX devices with 6 nm Si film

Cretu, Bogdan ; Simoen, Eddy ; et al.

In: The International Conference on Noise and Fluctuations (ICNF) ; https://hal.science/hal-00994170 ; The International Conference on Noise and Fluctuations (ICNF), 2013, Montpellier, France. 4 p, 2013

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International audience ; The noise spectra of the studied n-channel UTBOX devices contain flicker noise and Lorentzian components. At room temperature it was found that the flicker noise is explained by the carrier number fluctuation model for both front and back interfaces. Due to the thin silicon film thickness a strong electrostatic coupling between front and back interface was evidenced. The evolution of the low frequency noise versus the temperature allows to identify traps in the silicon film and to make a correlation between the observed traps and some technological steps.

Titel:	Low frequency noise characterization in n-channel UTBOX devices with 6 nm Si film
Autor/in / Beteiligte Person:	Cretu, Bogdan ; Simoen, Eddy ; Routoure, Jean-Marc ; Carin, Régis ; Aoulaiche, M. ; Claeys, C. ; Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072 ; Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC) ; Université de Caen Normandie (UNICAEN) ; Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN) ; Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN) ; Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; IMEC ; (IMEC), IMEC ; Catholic University of Leuven = Katholieke Universiteit Leuven (KU Leuven)-Catholic University of Leuven = Katholieke Universiteit Leuven (KU Leuven) ; Catholic University of Leuven = Katholieke Universiteit Leuven (KU Leuven) ; E.E. Dept - KU Leuven, Kasteelpark Arenberg - Belgium
Link:	https://hal.science/hal-00994170 https://hal.science/hal-00994170/document Volltext
Zeitschrift:	The International Conference on Noise and Fluctuations (ICNF) ; https://hal.science/hal-00994170 ; The International Conference on Noise and Fluctuations (ICNF), 2013, Montpellier, France. 4 p, 2013
Veröffentlichung:	HAL CCSD, 2013
Medientyp:	Konferenz
Schlagwort:	Montpellier France UTBOX thin silicon film low frequency noise carrier number fluctuation noise Lorentzian noise [SPI]Engineering Sciences [physics] [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics Subject Geographic: Montpellier France
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: English Collection: Normandie Université: HAL Document Type: conference object Language: English Relation: hal-00994170; https://hal.science/hal-00994170; https://hal.science/hal-00994170/document; https://hal.science/hal-00994170/file/hal-00994170.pdf Rights: info:eu-repo/semantics/OpenAccess

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