Comparative Equilibrium Analysis of Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) GaAs Growth Using Trimethylgallium (TMGa) with Arsine or Trimethylarsine (TMAs)

Abril, Evaristo José ; Alonso, Alonso ; et al.

In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 31 (1992), Heft 6R, S. 1721

academicJournal

A thermodynamic equilibrium model has been employed to determine the equilibrium estate of Trimethylgallium (TMGa)-AsH 3 -H 2 and TMGa-Trimethylarsine (TMAs)-H 2 systems in vapor phase. The analysis has been made for pressure, hydrogen/trimethyl (H 2 /TM) ratio, V/III ratio and various temperature ranges, and includes, in both cases, 33 selected gas-phase species in the presence of solid GaAs. A study of the substitution of arsine for TMAs has been carried out, with regard to relative stabilities of the species and the changes in carbon incorporation. Dependence of carbon impurities on the growth parameters has been analyzed in order to postulate the factors that can influence carbon incorporation.

Titel:	Comparative Equilibrium Analysis of Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) GaAs Growth Using Trimethylgallium (TMGa) with Arsine or Trimethylarsine (TMAs)
Autor/in / Beteiligte Person:	Abril, Evaristo José ; Alonso, Alonso ; Lopez, Miguel ; Miguel Aguilar, Miguel Aguilar
Link:	https://doi.org/10.1143/jjap.31.1721
Zeitschrift:	Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 31 (1992), Heft 6R, S. 1721
Veröffentlichung:	IOP Publishing, 1992
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0021-4922
DOI:	10.1143/jjap.31.1721
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: unknown Document Type: article in journal/newspaper Language: unknown Rights: https://iopscience.iop.org/page/copyright ; https://iopscience.iop.org/info/page/text-and-data-mining

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.