Improved crystalline quality of AlN epitaxial layer on sapphire by introducing TMGa pulse flow into the nucleation stage

Wu, Hualong ; Wang, Hailong ; et al.

In: Journal of Crystal Growth ; volume 490, page 56-60 ; ISSN 0022-0248, 2018

academicJournal

Titel:	Improved crystalline quality of AlN epitaxial layer on sapphire by introducing TMGa pulse flow into the nucleation stage
Autor/in / Beteiligte Person:	Wu, Hualong ; Wang, Hailong ; Chen, Yingda ; Zhang, Lingxia ; Chen, Zimin ; Wu, Zhisheng ; Wang, Gang ; Jiang, Hao ; National key R&D Program of China ; State Key Program of National Natural Science Foundation of China ; Science and Technology Major Project of Guang-dong Province ; Guangdong Natural Science Foundation
Link:	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2018.03.020 https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0022024818301325?httpAccept=text/xml https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0022024818301325?httpAccept=text/plain
Zeitschrift:	Journal of Crystal Growth ; volume 490, page 56-60 ; ISSN 0022-0248, 2018
Veröffentlichung:	Elsevier BV, 2018
Medientyp:	academicJournal
DOI:	10.1016/j.jcrysgro.2018.03.020
Schlagwort:	Materials Chemistry Inorganic Chemistry Condensed Matter Physics
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: English Collection: ScienceDirect (Elsevier - Open Access Articles via Crossref) Document Type: article in journal/newspaper Language: English Rights: https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.