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METAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION GROWTH OF GAN

LU, DC ; WANG, D ; et al.
In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY; LU DC; WANG D; WANG XH; LIU XL; DONG JR; GAO WB; LI CJ; LI YYMETAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION GROWTH OF GAN ,MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY ,1995,29(0):58-60;; (1995)
unknown

Titel:
METAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION GROWTH OF GAN
Autor/in / Beteiligte Person: LU, DC ; WANG, D ; WANG, XH ; LIU, XL ; DONG, JR ; GAO, WB ; LI, CJ ; LI, YY ; LU DC CHINESE ACAD SCIINST SEMICONDSEMICOND MAT SCI LABBEIJING 100083PEOPLES R CHINA.
Link:
Quelle: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY; LU DC; WANG D; WANG XH; LIU XL; DONG JR; GAO WB; LI CJ; LI YYMETAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION GROWTH OF GAN ,MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY ,1995,29(0):58-60;; (1995)
Veröffentlichung: 1995
Medientyp: unknown
Schlagwort:
  • 半导体材料
  • Gallium Nitride
  • Epitaxy Of Thin Films
  • Mocvd
  • Chemical Vapor Deposition
  • Buffer Layer
  • Substrate
  • Sapphire
  • Epitaxy
  • Movpe
  • atomic layer deposition
  • aluminum oxide
  • vapor-plating
  • molecular beam epitaxy
  • coulomb-bethe
  • many-body expansion
  • 真空镀膜
  • coating
  • vacuum
  • deposition
  • vapor
  • vacuum coating
  • vacuum metallizing
  • vapor deposition
  • vapor-phase deposition
  • bedamfung
  • deposition de la phase vapeur
  • cvd (deposition)
  • 底物
  • 蓝宝石
Sonstiges:
  • Nachgewiesen in: BASE
  • Sprachen: English
  • Collection: Institute of Semiconductors: SEMI OpenIR (Chinese Academy of Sciences) / 中国科学院半导体研究所机构知识库
  • Document Type: other/unknown material
  • Language: English

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