METAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION GROWTH OF GAN

LU, DC ; WANG, D ; et al.

In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY; LU DC; WANG D; WANG XH; LIU XL; DONG JR; GAO WB; LI CJ; LI YYMETAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION GROWTH OF GAN ,MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY ,1995,29(0):58-60;; (1995)

unknown

Wie komme ich dran?

Single-crystal GaN films have been deposited on (01 (1) over bar 2) sapphire substrates using trimethylgallium (TMGa) and NH3 as sources. The morphological, crystalline, electrical and optical characterizations of GaN film are investigated. The carrier concentration ofundoped GaN increases with decreasing input NH3-to-TMGa molar flow ratio.

Titel:	METAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION GROWTH OF GAN
Autor/in / Beteiligte Person:	LU, DC ; WANG, D ; WANG, XH ; LIU, XL ; DONG, JR ; GAO, WB ; LI, CJ ; LI, YY ; LU DC CHINESE ACAD SCIINST SEMICONDSEMICOND MAT SCI LABBEIJING 100083PEOPLES R CHINA.
Link:	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15601
Quelle:	MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY; LU DC; WANG D; WANG XH; LIU XL; DONG JR; GAO WB; LI CJ; LI YYMETAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION GROWTH OF GAN ,MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY ,1995,29(0):58-60;; (1995)
Veröffentlichung:	1995
Medientyp:	unknown
Schlagwort:	半导体材料 Gallium Nitride Epitaxy Of Thin Films Mocvd Chemical Vapor Deposition Buffer Layer Substrate Sapphire Epitaxy Movpe atomic layer deposition aluminum oxide vapor-plating molecular beam epitaxy coulomb-bethe many-body expansion 真空镀膜 coating vacuum deposition vapor vacuum coating vacuum metallizing vapor deposition vapor-phase deposition bedamfung deposition de la phase vapeur cvd (deposition) 底物蓝宝石
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: English Collection: Institute of Semiconductors: SEMI OpenIR (Chinese Academy of Sciences) / 中国科学院半导体研究所机构知识库 Document Type: other/unknown material Language: English

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