Fabrication of c-axis LiNbO3 Thin Film for Surface Acoustic Wave Applications
In: Workshop for multi-functional materials: from synthesis to applications ; https://hal.science/hal-04256597 ; Workshop for multi-functional materials: from synthesis to applications, Jun 2023, Valenciennes, France, 2023
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International audience ; Lithium niobate (LN) is an important dielectric and ferroelectric materials, which are widely used in acoustics, optic, and optoelectrical devices. In this study, LN thin film was deposited by CBVD method. A SAW delay line and a one-port resonator were fabricated by an e-beam lithography process to investigate the acoustic properties.
| Titel: |
Fabrication of c-axis LiNbO3 Thin Film for Surface Acoustic Wave Applications
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| Autor/in / Beteiligte Person: | Bui, Ngoc Kim Thanh ; Smagin, Nikolay ; Oumekloul, Zakariae ; Moalla, Rahma ; Maudez, William ; Wagner, Estelle ; Benvenuti, Giacomo ; Duquennoy, Marc ; Remiens, Denis ; Carlier, Julien ; Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA) ; Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL) ; Optoélectronique - IEMN (OPTO - IEMN) ; INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France (INSA Hauts-De-France) ; Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA) ; Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN (TPIA - IEMN) ; Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN (MAMINA - IEMN) ; Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 (IEMN-DOAE) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) ; Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) ; Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN) ; Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC) ; Network, Renatech ; CMNF |
| Link: | |
| Zeitschrift: | Workshop for multi-functional materials: from synthesis to applications ; https://hal.science/hal-04256597 ; Workshop for multi-functional materials: from synthesis to applications, Jun 2023, Valenciennes, France, 2023 |
| Veröffentlichung: | HAL CCSD, 2023 |
| Medientyp: | Konferenz |
| Schlagwort: |
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| Sonstiges: |
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