Resistivity anisotropy of tilted columnar W and W–Cu thin films

El Beainou, Raya ; Cote, Jean-Marc ; et al.

In: ISSN: 0257-8972, 2021

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Titel:	Resistivity anisotropy of tilted columnar W and W–Cu thin films
Autor/in / Beteiligte Person:	El Beainou, Raya ; Cote, Jean-Marc ; Tissot, Vincent ; Potin, Valérie ; Martin, Nicolas ; Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC) ; Université Bourgogne Franche-Comté COMUE (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté COMUE (UBFC) ; Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne (ICB) ; Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Université de Bourgogne (UB)-Université Bourgogne Franche-Comté COMUE (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; ANR-17-EURE-0002,EIPHI,Ingénierie et Innovation par les sciences physiques, les savoir-faire technologiques et l'interdisciplinarité(2017)
Link:	https://hal.science/hal-03359918 https://hal.science/hal-03359918/document Volltext https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127412
Zeitschrift:	ISSN: 0257-8972, 2021
Veröffentlichung:	HAL CCSD ; Elsevier, 2021
Medientyp:	academicJournal
DOI:	10.1016/j.surfcoat.2021.127412
Schlagwort:	[PHYS.MECA]Physics [physics]/Mechanics [physics] [SPI.ACOU]Engineering Sciences [physics]/Acoustics [physics.class-ph] [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: English Collection: Université de Bourgogne (UB): HAL Document Type: article in journal/newspaper Language: English Relation: hal-03359918; https://hal.science/hal-03359918; https://hal.science/hal-03359918/document; https://hal.science/hal-03359918/file/S0257897221005867.pdf; PII: S0257-8972(21)00586-7 Rights: http://creativecommons.org/licenses/by-nc/ ; info:eu-repo/semantics/OpenAccess

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