CBr4-based in-situ etching of GaAs, assisted with TMAl and TMGa
In: Journal of Crystal Growth ; volume 434, page 116-122 ; ISSN 0022-0248, 2016
academicJournal
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Titel: |
CBr4-based in-situ etching of GaAs, assisted with TMAl and TMGa
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Autor/in / Beteiligte Person: | Della Casa, Pietro ; Maaßdorf, Andre ; Zeimer, Ute ; Weyers, Markus |
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Zeitschrift: | Journal of Crystal Growth ; volume 434, page 116-122 ; ISSN 0022-0248, 2016 |
Veröffentlichung: | Elsevier BV, 2016 |
Medientyp: | academicJournal |
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2015.11.002 |
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Sonstiges: |
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