Analysis of TMGa output of on-board cylinders for chemical vapor deposition
In: Journal of Crystal Growth ; volume 452, page 226-229 ; ISSN 0022-0248, 2016
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Titel: |
Analysis of TMGa output of on-board cylinders for chemical vapor deposition
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Autor/in / Beteiligte Person: | Woelk, E. ; DiCarlo, R. |
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Zeitschrift: | Journal of Crystal Growth ; volume 452, page 226-229 ; ISSN 0022-0248, 2016 |
Veröffentlichung: | Elsevier BV, 2016 |
Medientyp: | academicJournal |
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2016.02.036 |
Schlagwort: |
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