Edge detection using deep learning pipelines for TEM and SEM metrology by proposing generic and specific approaches

Loza, Edgar ; Baderot, Julien ; et al.

In: Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII ; https://hal.science/hal-04343397 ; Metrology, 2023

Konferenz

Titel:	Edge detection using deep learning pipelines for TEM and SEM metrology by proposing generic and specific approaches
Autor/in / Beteiligte Person:	Loza, Edgar ; Baderot, Julien ; Grould, Marion ; Pery, Emilie ; Chausse, Frédéric ; Martinez, Sergio ; Foucher, Johann ; POLLEN, METROLOGY ; Laboratoire d'études spatiales et d'instrumentation en astrophysique (LESIA) ; Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Observatoire de Paris ; Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris Diderot - Paris 7 (UPD7)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; Haute résolution angulaire en astrophysique ; Laboratoire d'études spatiales et d'instrumentation en astrophysique = Laboratory of Space Studies and Instrumentation in Astrophysics (LESIA) ; Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Observatoire de Paris ; Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris Cité (UPCité)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Observatoire de Paris ; Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris Cité (UPCité) ; Institut Pascal (IP) ; SIGMA Clermont (SIGMA Clermont)-Université Clermont Auvergne 2017-2020 (UCA 2017-2020 )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Clermont Auvergne (UCA)-Institut national polytechnique Clermont Auvergne (INP Clermont Auvergne) ; Université Clermont Auvergne (UCA)-Université Clermont Auvergne (UCA) ; Université Blaise Pascal - Clermont-Ferrand 2 (UBP)-SIGMA Clermont (SIGMA Clermont)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; Laboratoire des sciences et matériaux pour l'électronique et d'automatique (LASMEA) ; Université Blaise Pascal - Clermont-Ferrand 2 (UBP)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Link:	https://hal.science/hal-04343397 https://doi.org/10.1117/12.2657908
Zeitschrift:	Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII ; https://hal.science/hal-04343397 ; Metrology, 2023
Veröffentlichung:	HAL CCSD ; SPIE, 2023
Medientyp:	Konferenz
DOI:	10.1117/12.2657908
Schlagwort:	San Jose United States [SPI.AUTO]Engineering Sciences [physics]/Automatic [INFO.INFO-CV]Computer Science [cs]/Computer Vision and Pattern Recognition [cs.CV] [SPI.SIGNAL]Engineering Sciences [physics]/Signal and Image processing Subject Geographic: San Jose United States
Sonstiges:	Nachgewiesen in: BASE Sprachen: English Collection: Institut national des sciences de l'Univers: HAL-INSU Document Type: conference object ; still image Language: English Relation: hal-04343397; https://hal.science/hal-04343397 Rights: http://hal.archives-ouvertes.fr/licences/publicDomain/

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