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Design and investigation of dielectric modulated triple metal gate-oxide-stack Z-shaped gate horizontal pocket TFET device as a label-free biosensor.

Reddy, Nelaturi Nagendra ; Panda, Deepak Kumar
In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 32 (2022-08-01), Heft 8, S. 1-12
Online academicJournal

Titel:
Design and investigation of dielectric modulated triple metal gate-oxide-stack Z-shaped gate horizontal pocket TFET device as a label-free biosensor.
Autor/in / Beteiligte Person: Reddy, Nelaturi Nagendra ; Panda, Deepak Kumar
Link:
Zeitschrift: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 32 (2022-08-01), Heft 8, S. 1-12
Veröffentlichung: 2022
Medientyp: academicJournal
ISSN: 1361-6439 (print)
DOI: 10.1088/1361-6439/ac7773
Schlagwort:
  • BIOSENSORS
  • TUNNEL field-effect transistors
  • DIELECTRIC devices
  • METALWORK
  • DIELECTRICS
  • THRESHOLD voltage
  • PERMITTIVITY
  • METAL oxide semiconductor field-effect transistors
  • BIOSENSORS *
  • TUNNEL field-effect transistors *
  • DIELECTRIC devices *
  • METALWORK *
  • DIELECTRICS *
  • THRESHOLD voltage *
  • PERMITTIVITY *
Sonstiges:
  • Nachgewiesen in: Academic Search Index
  • Sprachen: English

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