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    Challenges in atomic layer etching of gallium nitride using surface oxidation and ligand-exchange.
    Messina, Daniel C. ; Hatch, Kevin A. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films, Jg. 41 (2023-03-01), Heft 2, S. 1-8
    Online academicJournal
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    Low-temperature growth of gallium oxide thin films by plasma-enhanced atomic layer deposition.
    Mahmoodinezhad, Ali ; Janowitz, Christoph ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films, Jg. 38 (2020-03-01), Heft 2, S. 1-11
    Online academicJournal
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    Surface Chemistry of Ga(CH<subscript>3</subscript>)<subscript>3</subscript> on Pd(111) and Effect of Pre-covered H and O.
    Ding, Liang-bing ; Ma, Yun-sheng ; et al.
    In: Chinese Journal of Chemical Physics (1674-0068), Jg. 29 (2016-10-27), Heft 5, S. 591-599
    Online academicJournal
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    Dissociation of trimethylgallium on the ZrB2(0001) surface.
    Manandhar, Kedar ; Trenary, Michael ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films, Jg. 31 (2013-11-01), Heft 6, S. 61405-61413
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