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In: Technical Physics Letters, Jg. 49 (2023-12-04), S. S211- (4S.)Online academicJournalZugriff:
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In: Materials (1996-1944), Jg. 15 (2022-10-01), Heft 19, S. 6916-6928Online academicJournalZugriff:
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In: Materials Science in Semiconductor Processing, Jg. 168 (2023-12-01), S. N.PAGOnline academicJournalZugriff:
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2003Online academicJournalZugriff: