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    Wafer-level vapor cells filled with laser-actuated hermetic seals for integrated atomic devices
    Maurice, Vincent ; Carlé, Clément ; et al.
    In: ISSN: 2055-7434 ; Microsystems & Nanoengineering ; https://hal.science/hal-04224417 ; Microsystems & Nanoengineering, 2022, 8 (129), pp.13. ⟨10.1038/s41378-022-00468-x⟩, 2022
    Online academicJournal
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    Wafer-level vapor cells filled with laser-actuated hermetic seals for integrated atomic devices
    Maurice, Vincent ; Carlé, Clément ; et al.
    In: ISSN: 2055-7434 ; Microsystems & Nanoengineering ; https://hal.science/hal-04224417 ; Microsystems & Nanoengineering, 2022, 8 (129), pp.13. ⟨10.1038/s41378-022-00468-x⟩, 2022
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