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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 13 (1995-05-01), Heft 3, S. 1024-1029Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 27 (2009-05-01), Heft 3, S. 1097-1100Online academicJournalZugriff: