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In: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; (2020) S. 851-876BuchZugriff:
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In: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; (2020) S. 609-625BuchZugriff:
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In: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; (2016) S. 744-763BuchZugriff:
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In: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; (2016) S. 626-639BuchZugriff:
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Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!BuchZugriff:
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