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- Entferne Filter: Thema: engineered materials, dielectrics and plasmas
- Entferne Filter: Publikation: [1993] proceedings ieee micro electro mechanical systems, micro electro mechanical systems, 1993, mems '93, proceedings an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems. ieee.
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In: [1993] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1993, S. 207-212Online KonferenzZugriff: